Leitendes Auge für MEMS

Problem: Um sicherzustellen, dass sie während der sehkorrektur-lasik-Operation auf die richtigen Teile der Hornhaut abzielen, verlassen sich Ärzte auf einen Scanner, der auf Augenbewegungen reagiert und Laserpulse umleitet. Heutige Scanner kosten Tausende von Dollar und bieten immer noch nicht die ideale Präzision.

In Silizium eingravierte kreisförmige Spiegel werden durch die Bewegungen kammförmiger Strukturen gesteuert. (Mit freundlicher Genehmigung von Hyuck Choo)

Lösung: An der University of California, Berkeley, verwendeten Forscher des Microfabrication Laboratory kostengünstige Techniken, um einen Mikroscanner zu bauen, der sich bis zu 30.000 Mal pro Sekunde bewegt, gegenüber 4.000 Mal pro Sekunde bei konventioneller Technologie. Die Doktoranden Hyuck Choo und David Garmire erfanden eine Methode, um ein Stück Silizium in zwei ineinandergreifende kammartige Strukturen zu schnitzen. Durch Anlegen einer Spannung an einen Kamm bewegt sich der andere nach oben oder unten. Ein an den Kämmen angebrachter Spiegel lenkt einen Laserstrahl um. Während in einigen mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) bereits Kammantriebe verwendet werden, mussten die Kämme auf separaten Siliziumwafern aufgebaut und manuell verkeilt werden. Da das neue Gerät einfach herzustellen ist, ist dies nicht nur ein schrittweiser Schritt, sondern eine wichtige Entwicklung, sagt Roger T. Howe, Elektroingenieur der Stanford University, der in den 1980er Jahren den Kammantrieb erfunden hat. Choo sagt, dass die Technologie kostengünstig in chirurgische Scanner und andere Geräte integriert werden könnte.



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